3.3 佳能（Canon）在近接式微影與早期掃描機（Scanner）上的突破與分庭抗禮#

另一家百年光學企業的半路轉身#

Canon（佳能）同樣是相機光學起家——1937 年創立，以光學與精密機械聞名，1970 年代轉入半導體曝光設備。Canon 與 Nikon 同屬東京光學圈，卻發展出與 Nikon 不一樣的技術路線。

Canon 的第一把武器：近接式（Proximity）曝光#

1970 年代，Canon 先以近接式光刻機進入市場：

• 從接觸式演進：wafer 與 mask 間距以微米級自動控制（FPA 系列的初期產品）；
• 成本低、結構簡單，成為日本中低階晶片廠的經濟型主力；
• 1978 年前後的 Canon FPA 系列等——近接式曝光在中低線寬（3–5μm）的日本國內市場非常受歡迎。

這條路線的意義：

• Canon 把「低成本、高可靠」變成品牌特色，在 contact／proximity 市場逐步超越美國 Karl Suss 等小廠；
• 近接式技術的利基市場至今仍然存活——在封裝、MEMS、LED、低成本成熟製程中都有其位置。

老二戰略與步進機的突圍#

1980 年代，步進機市場已由 Nikon 主導——Canon 選擇「老二戰略」：

1. 不在最高階的精密市場硬拼，以性價比切入美國中型 fab 與後進國家市場；
2. 在新光源上不再「跟隨 Nikon」——Canon 利用自己的相機光學底子，自行設計 i-line 鏡組，逐步把技術底盤完全掌握；
3. 1980 年代末，Canon 與 Nikon 形成互相牽制的雙強格局——日本兩強合計掌握世界步進機約 85–90%。

掃描式轉型的先驅#

當代先進微影的標準架構是「掃描式（scanner）」——mask 與 wafer 反向同步掃描，以狹縫曝光方式完成每個 die：

• Canon 較早探索掃描投影概念，1990 年代中後期推出掃描式機型（FPA 系列）；
• Canon 相關的先發優勢來自近接式結構帶來的精密運動控制經驗；
• 1990 年代末 Canon 在掃描式路線上與 Nikon 的差距縮小，是 1990s 兩強市場競爭最激烈的時期。

Canon 與 Nikon 的市場纏鬥（1990s）#

同源異化的結果#

Canon 與 Nikon 都在東京的光學人才圈累積能力，但 1990 年代末兩家採用不同的商業設計：

• Nikon：固守高階路線、重成像品質；
• Canon：更強調客戶服務與「快而省」；
• 兩者都在 1990 年代末面臨 ASML 的崛起——「浸潤式」與「EUV」兩場戰役在 2000 年代重創了日系（詳見第 6 章）。

小結#

Canon 的故事講述了一個「非主流戰略」的勝利：在王座已被 Nikon 佔據的情況下，Canon 以「近接式＋老二戰略＋在成熟製程的深耕」三位一體，在全球微影市場找到了自己的席位。但真正的戲劇（浸潤式、EUV）是由一家歐洲小公司改寫——那是第五、六章的主題。