5.3 德國蔡司（Carl Zeiss）光學鏡片與 ASML 鐵血同盟的建立#

蔡司：光學帝國的「國之重器」#

Carl Zeiss（1846 年建於德國 Jena）是全球最古老、最強的精密光學公司。二戰後公司分裂（東德耶拿與西德 Oberkochen），1975 年後兩德部分的蔡司在 Oberkochen 合併。「蔡司半導體製造技術部門（Zeiss SMT）」自 1970 年代起成為全球光刻鏡頭的核心供應商。

1970–90 年代的鏡頭供應格局#

各設備廠的鏡頭來源：

Nikon／Canon：自製鏡頭——這需要孕育一整條光學人才與玻璃產業鏈，是日系兩強最深的護城河；
Perkin-Elmer：自家的反射鏡系統；
GCA：OEM 蔡司鏡頭（g-line）；
ASML：也找蔡司——這成了 ASML 的命運。

1980 年代末，嗜好光學的日系公司在自家光學上有 100 年的積累，ASML 要在這條線上活下來，唯一的選擇是「把供應商變成家人」。

從供應商到鐵血同盟的三步#

第一步（1980 年代末–1990 年代）：穩定依賴#

ASML 的 PAS 5000／5500 系列全面採用蔡司鏡頭；Nikon 自家鏡頭的成本與品質雙優勢之下，ASML 必須讓蔡司把自己視為「最大的客戶與戰略夥伴」——為此 ASML 曾在高層花大量外交功夫，確保蔡司的 R&D 優先權先給 ASML。

第二步（2000 年代）：共同研發的綁定#

ASML 與蔡司同步研發 DUV 高 NA 鏡組（NA 0.75→0.93，浸潤式時代）與EUV 反射鏡組；
2000 年代初雙方簽署長期排他性合作條款——蔡司 SMT 的關鍵產能與研發，實質上優先服務 ASML。

第三步（2016 年）：直接買下#

2016 年 ASML 收購 Zeiss SMT 的 24.9% 股權並承諾在 6 年内投資約 10 億歐元於蔡司；2018 年完成對 Zeiss SMT 的 100% 收購。

這是半導體設備史上最深的一次垂直整合：從此光學鏡頭＝ASML 自有資產。

為什麼這個同盟是史上最深？#

技術獨占：EUV 光刻是「鏡頭即一切」的時代——要求全系統波前誤差低於約 12 皮米 RMS（相當於把德國放大到月球面積、誤差卻小於 1 毫米）。除了蔡司沒有人能做；
文化契合：蔡司的 Oberkochen 基地與 ASML 位於的荷蘭 Veldhoven 相距不遠，兩家公司共享德荷邊界的工程文化；
戰略安全：任何一家競爭者（Nikon、Canon，以及後來的中國努力）都無法同時做出蔡司級鏡頭與 ASML 級系統整合——兩者合成為不可分裂的壟斷。

小結#

蔡司與 ASML 是「從供應商到持有權」的教科書案例；歐洲百年光學與荷蘭工程整合，共同造就了全球唯一的 EUV 生態。接下來的第一節（第 6 章），主角換成台積電的林本堅博士——他在「水」上，為 ASML 奠定了下一個十年統治的基礎。